SQUARE RESISTANCE（RESISTIVITY）
TESTER（CHIPS AND INGOTS）
方阻（电阻率）测试仪（片与锭）
产品描述
设备主要利用涡电流测试原理，非接触测试半导体材料，石墨烯，透明导电膜，碳纳米管，金属等材料的方阻（电阻率）。
可实现单点测试，亦可以实现面扫描的测试功能，可用于材料研发及工艺的监测及质量控制。
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特点
本仪器为非接触，非损伤测试，具有测试速度快，重复性佳，测试敏感性高，可以直接测试产品片。
技术参数
| 参数 | 探头 | 方阻范围 | 电阻率范围 | 测试方法 |
量程 | 低阻探头 | 0.005-1 Ω/sq | 0.25-50 mΩ·cm | 涡流法， 非接触式 |
中阻探头 | 0.05-10 Ω/sq | 2.5-500 mΩ·cm |
高阻探头 | 10-3000 Ω/sq | 0.5-150 Ω·cm |
锭探头 | 0.01-2 Ω·cm |
重复性 | ＜ 0.2% ( ≤ 50%量程范围） | ＜ 0.5% ( > 50%量程范围） |
准确度 | ＜ ±3% ( ≤ 50%量程范围） | ＜ ±3% ( > 50%量程范围） |
探头信息 | 探头类型：双探头（上下探头，间距2 - 3mm） 探头直径：外径20mm，内径14mm（有效测试部分） |
坐标设置 | 任意坐标设置 |
存储数据 | 数据库内部存储（可导出表格文件） PDF测试报告，含测试信息（时间、操作员）、wafer信息（编号、尺寸、厚度），数据信息（测试点数，**值，最小值，平均值，相对标准偏差等），等高线图，曲面图等。 CSV表格数据可存储至远端服务器，可根据客户需求修改相关报告信息 |
WAFER信息 | 尺寸：2”- 8”（英寸） 厚度：100 - 1500 μm |
系统要求 | 供电：AC220V,50/60Hz 功率：600W 环境：温度24℃±10℃ 相对湿度：20%-80%RH 尺寸：975*465*425(mm) 寿命：> 10年 |
涡流法原理
当载有交变电流的检测线圈靠近被测导体，由于线圈上交变磁场的作用，被测导体感应出涡流并产生与原磁场方向相反的磁场，
部分抵消原磁场，导致检测线圈电阻和电感变化。
电阻率 = 方阻 × Wafer厚度
方阻 和 V 具有关系
电阻率是用来表示物质电阻特性的物理量，是材料本身的电学性质。
适用材料
材料 | 电阻率 | 方阻 |
Silicon wafer | Y | Y |
SiC wafer / Ingot | Y | Y |
GaO wafer / Ingot | Y | Y |
GaN wafer 2DEGI | Y | Y |
GaAs 2EDG |
| Y |
IGZO/LTPS/ITO |
| Y |
TCO(Touch panel) |
| Y |
Graphene |
| Y |
Metal film |
| Y |
稳定性
相对标准偏差=0.0150%@中点15次重复性
方阻Mapping55点测试报告
报告时间 | 2023/10/26 13:51 | 测试样本数 | 55 |
分析时间 | 2023/10/26 13:47 | **电阻率 | 0.0232 |
操作员ID | admin | 最小电阻率 | 0.02277 |
批次ID | 0 | 平均电阻率 | 0.02293 |
样片ID | A-1-55 | 标准偏差 | 0.000111 |
尺寸规格 | 100mm | 相对标准偏差 | 0.4861% |
动态重复性逐点（38点坐标）一致性数据如下(样品面的测量5次)
| 一 | 二 | 三 | 四 | 五 | 重复性 | Max |
1 | 0.12459 | 0.12466 | 0.12467 | 0.12471 | 0.12472 | 0.0413% | 0.0703% |
2 | 0.12347 | 0.12351 | 0.12356 | 0.12358 | 0.12362 | 0.0477% |
|
3 | 0.12315 | 0.12321 | 0.12323 | 0.12326 | 0.12329 | 0.0431% |
|
4 | 0.12389 | 0.12398 | 0.124 | 0.12402 | 0.12405 | 0.0489% |
|
5 | 0.12421 | 0.12424 | 0.12428 | 0.12438 | 0.12441 | 0.0703% |
|
6 | 0.12396 | 0.12403 | 0.12406 | 0.12408 | 0.12412 | 0.0484% |
|
7 | 0.12387 | 0.12389 | 0.12398 | 0.124 | 0.12403 | 0.0566% |
|
8 | 0.12482 | 0.12486 | 0.1249 | 0.12493 | 0.12496 | 0.0444% |
|
9 | 0.12431 | 0.12434 | 0.1244 | 0.12447 | 0.12451 | 0.0679% |
|
10 | 0.12429 | 0.12435 | 0.12438 | 0.12442 | 0.12445 | 0.0500% |
|
11 | 0.12372 | 0.12378 | 0.1238 | 0.12383 | 0.12386 | 0.0429% |
|
12 | 0.12381 | 0.12389 | 0.12392 | 0.12393 | 0.12396 | 0.0462% |
|
13 | 0.1237 | 0.12374 | 0.1238 | 0.12381 | 0.12385 | 0.0481% |
|
14 | 0.12386 | 0.12394 | 0.12396 | 0.12399 | 0.12403 | 0.0512% |
|
15 | 0.12394 | 0.124 | 0.12404 | 0.12407 | 0.12409 | 0.0482% |
|
16 | 0.12496 | 0.125 | 0.12504 | 0.12507 | 0.12509 | 0.0421% |
|
17 | 0.1245 | 0.12454 | 0.12452 | 0.12464 | 0.12465 | 0.0562% |
|
18 | 0.12414 | 0.12418 | 0.12422 | 0.12425 | 0.12427 | 0.0424% |
|
19 | 0.12392 | 0.12396 | 0.124 | 0.12404 | 0.12406 | 0.0462% |
|
20 | 0.12487 | 0.12491 | 0.12496 | 0.12501 | 0.12501 | 0.0495% |
|
21 | 0.12355 | 0.1236 | 0.12363 | 0.12367 | 0.12372 | 0.0526% |
|
22 | 0.12402 | 0.12409 | 0.12412 | 0.12415 | 0.12417 | 0.0473% |
|
23 | 0.12442 | 0.12444 | 0.12453 | 0.12456 | 0.12458 | 0.0578% |
|
24 | 0.12419 | 0.12423 | 0.12428 | 0.12431 | 0.12434 | 0.0486% |
|
25 | 0.12388 | 0.12395 | 0.12396 | 0.12398 | 0.12403 | 0.0438% |
|
26 | 0.12501 | 0.12505 | 0.12509 | 0.12512 | 0.12516 | 0.0468% |
|
27 | 0.1244 | 0.12444 | 0.12453 | 0.12453 | 0.12458 | 0.0592% |
|
28 | 0.12441 | 0.12445 | 0.12452 | 0.12453 | 0.12457 | 0.0519% |
|
29 | 0.12385 | 0.12389 | 0.12393 | 0.12396 | 0.124 | 0.0473% |
|
30 | 0.12379 | 0.12383 | 0.12385 | 0.12387 | 0.12392 | 0.0389% |
|
31 | 0.12367 | 0.1237 | 0.12372 | 0.12374 | 0.12381 | 0.0425% |
|
32 | 0.12393 | 0.12397 | 0.12402 | 0.12403 | 0.12409 | 0.0492% |
|
33 | 0.12394 | 0.12396 | 0.124 | 0.12405 | 0.12409 | 0.0502% |
|
34 | 0.12506 | 0.12509 | 0.12514 | 0.12519 | 0.12521 | 0.0510% |
|
35 | 0.12449 | 0.12452 | 0.12459 | 0.12465 | 0.12466 | 0.0610% |
|
36 | 0.12423 | 0.12423 | 0.12431 | 0.12434 | 0.12436 | 0.0491% |
|
37 | 0.12382 | 0.12386 | 0.12386 | 0.12392 | 0.12395 | 0.0421% |
|
38 | 0.12494 | 0.12497 | 0.12502 | 0.12508 | 0.12508 | 0.0507% |
|
不同阻值稳定性测试如下（1000个数据分统计）
| 真实值 | 静态 | 动态 |
稳定性 | 0.1013 | 0.05% | 0.05% |
0.1596 | 0.04% | 0.04% |
0.2884 | 0.05% | 0.06% |
0.5657 | 0.07% | 0.05% |
0.9746 | 0.07% | 0.08% |
1.5941 | 0.11% | 0.09% |
3.1808 | 0.16% | 0.27% |
16.662 | 0.48% | 0.96% |
56.4 | 0.03% | 0.05% |
180.6 | 0.10% | 0.10% |
264.4 | 0.10% | 0.16% |
573.7 | 0.28% | 0.36% |
750.9 | 0.34% | 0.43% |
