EFEM全自动电阻率\迁移率测试仪

EMEF FULLY AUTOMATIC RESISTIVITY\

MOBILITY TESTER

EMEF全自动电阻率\迁移率测试仪

产品描述

       EFEM（半导体设备前置模块）从属于半导体生产设备，其内部主要由晶圆装载模块、空气过滤器FFU、

晶圆运输机器人、晶圆对准装置、晶圆读码装置、自动化控制模块等组成。其中晶圆装系统(Loadport)、晶

圆运输机器人(Robot)、晶圆对准装置(Aligner)和晶圆读码装置(OCR)是最核心的四大部件。